Torr是指（）的单位。

解释失效率及其单位，解释“浴盆曲线”各段的含义。

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在各种离子源常用的放电方式中，EOS是指有（）。

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菲克一维扩散定律公式中的J是代表单位面积溶质（）。

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（）是指每个入射离子溅射出的靶原子数。

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沾污是指半导体制造过程中引入半导体硅片的任何危害微芯片（）的不希望有的物质。

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企业的战略一般由四个要素组成，即经营范围、资源配置、竞争优势以及协同合作，其中协同合作是指企业通过共同的努力达到（）。

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下列关于曝光后烘烤的说法正确的是（）。

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离子注入的主要气体源中，剧毒的有（）。

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从电极的结构看，溅射的方法包括（）。

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