简答题

定义刻蚀速率并描述它的计算公式。为什么希望有高的刻蚀速率?

正确答案

刻蚀速率=△T/t(A/min)△T=去掉材料的厚度t=刻蚀所用的时间高的刻蚀速率,可以通过精确控制刻蚀时间来控制刻蚀的厚度。

答案解析

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