多选题

影响等离子体蚀刻特性好坏的因素包括以下几个方面()。

A等离子体蚀刻系统的形态

B等离子体蚀刻的参数

C光刻胶

D待蚀刻薄膜的淀积参数条件

正确答案

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答案解析

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