HMDA装置真空泵有（）。

HMDA装置的真空泵是（）式和（）式。

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HMDA装置的真空泵的位号是（）、（）、（）。

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HMDA装置的真空泵的正常启动顺序是（）。

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HMDA装置的真空泵的正常停止的顺序是（）。

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HMDA真空机组有三级真空泵。

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HMDA真空机组有三级真空泵。

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目前HMDA装置内部有（）套氮封系统。

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HMDA装置中常见的操作有（）

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HMDA装置五楼以上设备有（）

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