薄膜的化学制备方法有哪些？

主要分为化学气相沉积CVD和溶液镀膜法，化学气相沉积包括热CVD、等离子体CVD及光CVD等；溶液镀膜法包括化学镀膜法、溶胶——凝胶法、阳极氧化技术、电镀技术、LB技术等。

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