正确答案
(1)水冲洗
(2)碱洗:0.2—0.5%Na3PO4+0.1—0.2%Na2HPO4+0.05%表面活性剂,85℃以上,流速0.3m/s以上,8—24小时。
(3)酸洗:用HCL作清洗剂时,5%—l0%HCL,0.2—0.4%缓蚀剂50—55℃,清洗6—8小时。
(4)漂洗:0.1%—0.2%柠檬酸,PH3.5—4.0,温度80℃以上,循环2—3小时后用氨水调PH值至9.0—9.5。
(5)钝化:联氨钝化法:N2H4300—500mg/L,PH9.5—10,温度90—95℃,24—30小时。