简答题

集成电路常用的材料有哪些?分别举例。

正确答案

集成电路中常用的材料有三类:
半导体材料,如Si、Ge、GaAs以及InP等;
绝缘体材料,如SiO2、SiON和Si3N4等;
金属材料,如铝、金、钨以及铜等。

答案解析

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