行政许可过程中主要有哪几种违法形态？

①违法设定行政许可；
②行政许可机关不作为；
③行政机关违法作出准予行政许可决定；
④行政许可机关违反行政许可程序；
⑤行政许可机关违反监督义务；
⑥相对人的违法。

略