热分解化学气相淀积二氧化硅是利用（）化合物，经过热分解反应，在基片表面淀积二氧化硅。

有哪几种常用的化学气相淀积薄膜的方法？

简答题查看答案

二氧化硅的制备方法很多，其中最常用的是高温（）、（）淀积、PECVD淀积。

填空题查看答案

物理气相淀积最基本的两种方法是什么？简述这两种方法制备薄膜的过程。

简答题查看答案

低温淀积二氧化硅生长温度低、制作方便，但膜不够致密，耐潮性和抗离子沾污能力较差。（）

判断题查看答案

CVD淀积过程中两个主要的限制步骤是什么？它们分别在什么情况下会支配整个淀积速率？

简答题查看答案

热蒸发法淀积薄膜的淀积速率与哪些因素有关？淀积速率的测量采用什么办法？

简答题查看答案

外延生长方法比较多，其中主要的有（）外延、（）外延、金属有机化学气相外延、分子束外延、（）、固相外延等。

填空题查看答案

延生长方法比较多，其中主要的有（）外延、（）外延、金属有机化学气相外延、（）外延、原子束外延、固相外延等。

填空题查看答案

化学清洗中是利用硝酸的强（）和强（）将吸附在硅片表面的杂质除去。

填空题查看答案