离子束加工装置与电子束加工装置类似，不同的是用（）取代了（）。
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电子束加工设备昂贵，并需要（）装置。
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激光加工与离子束加工要求有真空装置。
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试述离子束加工的基本原理，特点和主要应用？
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电子控制式断经自停装置包括电气接触式和（）。
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电子防抱死制动系统主要是利用汽车原有的液压或气压系统，加装速度传感器、电子控制装置和（）装置而构成的。
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全站仪是由光电测距仪、电子经纬仪和电子记录装置三部分组成。主要功能有（）、距离测量、坐标测量和放样等。
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零件加工质量的主要指标包括（）和加工精度两个方面。
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电子刻蚀加工主要是通过热效应对工件进行加工，而离子刻蚀加工主要是通过（）效应对工件进行加工。
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