仪器垂直线性的好坏直接影响到对（）的判断。
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仪器水平线性的好坏直接影响对缺陷当量大小的判断
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仪器水平线性的好坏直接影响到对（）。
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仪器（）的好坏直接影响到对缺陷位置的判断。
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仪器工作频率的好坏直接影响到对缺陷当量的判断。
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垂直线性的好坏影响缺陷定量的精度，一般规定垂直线性误差（）。
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垂直线性的好坏影响缺陷定量的精度，一般规定垂直线性误差不大于（）。
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垂直线性的好坏影响缺陷定量的精度，一般规定垂直线性误差不大于8%。
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水平线性的好坏影响缺陷（）的精度。
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