简答题

采取什么措施可以提高近表面缺陷的检测能力?

正确答案

提高近表面缺陷的探测能力应从下面三方面着手:
①用TR探头;
②使用窄脉冲宽频带探头;
③提高探头频率,减小晶片尺寸

答案解析

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