简答题

什么是纳米光刻?

正确答案

是纳米技术的分支,为纳米级结构的制造,意指图案至少一个尺度的尺寸在单个原子与约100nm之间。纳米光刻主要运用在前沿半导体集成电路(纳米电路)或纳米机电系统(NEMS)的制造中。

答案解析

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