垂直线性的好坏影响缺陷定量的精度，一般规定垂直线性误差不大于（）。

垂直线性的好坏影响缺陷定量的精度，一般规定垂直线性误差（）。

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垂直线性的好坏影响缺陷定量的精度，一般规定垂直线性误差不大于8%。

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水平线性的好坏影响缺陷定位的精度，一般规定水平线性误差（）。

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水平线性的好坏影响缺陷定位的精度，一般规定水平线性误差不大于2%。

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水平线性的好坏影响缺陷（）的精度。

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仪器垂直线性的好坏直接影响到对缺陷大小的判断。

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水平线性的好快影响缺陷定位的精度，一般规定水平线性误差不大于（）。

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仪器垂直线性的好坏直接影响到对（）的判断。

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仪器水平线性的好坏直接影响对缺陷当量大小的判断

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