A对
B错
离子束加工时,由于离子质量大,当速度高、能量大时,垂直撞击时离子可注入工件材料内部,称()。当速度低、能量小时,离子可以溅射镀覆在工件表面,称()。当能量速度()而倾斜撞击工件时,可将工件表面的分子,原子撞击出去,一层一层的剥离下来,称为()加工或()加工。
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离子注入中高能量意味着注入硅片更深处,低能量则用于超浅结注入。
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离子注入后进行退火工艺的原因是什么?
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简述离子注入工艺中退火的主要作用?
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配位体与中心金属离子的π成键作用将影响配合物的分裂能,假定配位体的π轨道能量低于中心金属离子的π轨道,且已被电子所填满。请画出在八面体场中,这种π成键作用的分子轨道能级图,分析其对配合物的△o的影响。
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离子束加工机床(激光加工机床)是采用激光能量进行加工的设备的总称。
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有限表面源扩散与离子注入的杂质分布都满足高斯函数,两种掺杂工艺杂质最高浓度位置都在硅片表面。
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设氢原子中电子处在激发态2s轨道时能量为E1,氦原子处在第一激发态1s12s1时的2s电子能量为E2,氦离子He+激发态一个电子处于2s轨道时能量为E3,请写出E1,E2,E3的从大到小顺序。
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在气体中,产生一个“电子-离子”对所需要的平均能量大约是多少?其法诺因子在什么范围?
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