简答题

硅锭直径从20世纪50年代初期的不到25mm增加到现在的300mm甚至更大,其原因是什么?

正确答案

(1)更大直径硅片有更大的表面积做芯片,能够减少硅片的浪费。
(2)每个硅片上有更多的芯片,每块芯片的加工和处理时间减少,导致设备生产效率变高。
(3)在硅片边缘的芯片减少了,转化为更高的生产成品率。
(4)在同一工艺过程中有更多芯片,所以在一块芯片一块芯片的处理过程中,设备的重复利用率提高了。

答案解析

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