原材料用硅砂,先将其还原为纯度为97%-98%的(),为了进一步提高纯度,将金属硅与()反应,生成(),再将其还原,热分解得到纯度为99.99999%以上的多晶硅。
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单晶硅棒和PN结的制造技术等,与()以及()等半导体制造技术有较多共同部分,且历史悠久,实际业绩突出。
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单晶硅电池的制造工艺主要流程为()
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工业中单晶硅的制备方法主要有()和区熔法(FZ法)
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目前多晶硅原料的制备方法主要有三氯氢硅法(改良西门子法)和()两种方法。
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实现对CVD淀积多晶硅掺杂主要有三种工艺:扩散、离子注入、原位掺杂。由于原位掺杂比较简单,所以被广泛采用。
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生产多晶硅带的方法主要有定边喂膜法、蹼状枝晶法、绳带法和模板生长法,其中产出率最高的方法为()
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由于()效应及()效应,使多晶体的变形抗力比单晶体大,其中,()效应是多晶体加工硬化更主要的原因。
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将得到的多晶硅进行溶解,做成单晶硅,其方法有()和浮游带熔融两种。
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