一个圆形平板电容式传感器，其极板半径为5mm，工作初始间隙为0.3mm，空气介质，所采用的测量电路的灵敏度为100mV/pF，读数仪表灵敏度为5格/mV。如果工作时传感器的间隙产生2μm的变化量，则读数仪表的指示值变化多少格？

有一台变间隙非接触式电容测微仪，其传感器的极板半径r=4mm，假设与被测工件的初始间隙d0=0.3mm。试求：如果传感器与工件的间隙变化量△d=±10μm，电容变化量为多少？   

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如图所示正方形平板电容器,极板长度a=4cm,极板间距离δ=0.2mm.若用此变面积型传感器测量位移x,试计算该传感器的灵敏度并画出传感器的特性曲线.极板间介质为空

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计算题：一电容传感器，其圆形极板r=4mm，工作初始间隙δ0=0.3mm， （1）工作时如果传感器的工作间隙变化Δδ=±2μm，求电容的变化量。 （2）如果测量电路灵敏度S1=100mv/pF，读数仪表灵敏度S2=5格/mv，在Δδ=±2μm时，读数仪表的指示值变化多少格？（ε0=8.85×10-12F/m）

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为克服电容式传感器的边缘效应，可采用减小极板厚度方法和带保护环结构。为消灭寄生电容的影响可采用（）以及采用组合式与集成技术方法。

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移动电容式传感器动极板，导致两极板有效覆盖面积A发生变化的同时，将导致电容量变化，传感器电容改变量ΔC与动极板水平位移成（）关系。

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移动电容式传感器动极板，导致两极板有效覆盖面积A发生变化的同时，将导致电容量变化，传感器电容改变量ΔC与动极板水平位移成线性关系、与动极板角位移成（）关系。

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改变极板间覆盖面积的电容式传感器，常用的有角位移型和线位移型两种。

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压电式传感器可等效为一个（）和一个电容并联，也可等效为一个与电容相串联的电压源。

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平板电容器的电容量与极板面积成（），与板间距离成（）。

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