简答题

阐述铜金属化面临的三大问题,如何解决这些问题?

正确答案

铜金属化面临的三大问题:
①扩散到氧化区和有源区;
②刻蚀困难(干法刻蚀难以形成挥发性物质),铜不容易形成图形;
③铜在较低温度下(<200℃)极易氧化,且不能生成保护层来阻止进一步的氧化。
解决办法:
①双大马士革中采用CMP,无需刻蚀铜;
②钨填充用作局部互联金属和第一层金属与有源区的接触,避免铜刻蚀和铜“中毒”。

答案解析

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