随着铜布线中大马士革工艺的引入，金属化工艺变成刻蚀（）以形成一个凹槽，然后淀积（）来覆盖其上的图形，再利用（）把铜平坦化至ILD的高度。

大马士革工艺的重点在于介质的刻蚀而不是金属的刻蚀。

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对于大马士革工艺，重点是在于金属的刻蚀而不是介质的刻蚀。

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列出并讨论引入铜金属化的五大优点。

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大马士革工艺来源于一种类似精制的镶嵌首饰或艺术品的图案。

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大马士革工艺的名字来源于几千年前叙利亚大马士革的一位艺术家发明的一种技术。

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金属布线按照在集成电路中的作用可以分为哪些？

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在化学沉铜工艺中，活化液类型有（）。

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在化学沉铜工艺中甲醛应在（）加入。

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印制板化学沉铜工艺中的前处理的目的是（）。

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