简答题

何谓氧化增强扩散,发散区推进效应?产生机理是什么?

正确答案

在热氧化过程中原存在硅内的某些掺杂原子显现出更高的扩散性,称为氧化增强扩散。机理:氧化诱生堆垛层错产生大量自填隙Si,间隙-替位式扩散中的“踢出”机制提高了扩散系数。
在npn窄基区晶体管制造中,如果基区和发射区分别扩硼和扩磷,则发现在发射区正下方的基区要比不在发射区正下方的基区深,即在发射区正下方硼的扩散有了明显的增强,这种现象称为发射区推进效应。
机理:由于高浓度扩散磷时会产生大量空位,从而可使发射区正下方的硼得以加速扩散,产生发射极推进效应。

答案解析

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