简答题

如何调整旋涂中心孔染料点、旋涂射线和旋涂不圆？

正确答案

（1）针头要与碟片有一定角度，不可以过大。针头与碟片之间的距离要保持好，一般以两张白片厚度为宜，通过旋涂观察。针头的下dye时间要稍大于手臂的运动时间。
（2）首先，下dye要均匀，不可有下dye量明显不稳的情况发生。而且，第2段下dye量要比第一段下dye量要大。还可以调整dye泵的工作频率，大一点儿为宜。
（3）调整下dye手臂的速度、第一段旋涂的转数大小和时间。

答案解析

略

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