简述超声波加工设备组成。
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超声加工系统的组成部分及作用。
简述超声波加工的主要特点。
简述超声波加工的原理。
简述超声波加工基本原理。
利用超声振动的能量，通过机械装置对型腔表面进行抛光加工的工艺方法是（）。
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简述超声加工原理及应用。
简述加工系统的辅助装置。
简述超精密加工对机床微量进给装置性能的要求。
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