简述超声波加工设备组成。

超声波发生器（将工频交流电转化成有一定功率超声频电信号以提供往复运动和去除被加工材料的能量）、超声振动系统（将高频振荡电能转换为机械振荡能。包括：超声换能器、变幅杆、工具）、超声加工机床本体、磨料悬浮液冷却及循环系统（工作液最常用水，也用煤油、机油来提高加工表面质量，磨料一般为碳化硼、氧化铝，加工硬质合金用碳化硼，金刚石用金刚石粉，颗粒越大，效率越高，但粗糙度越差）。

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