超精密主轴有哪些驱功方式？各自的优缺点是什么？

1）电动机通过带传动驱动
优缺点：采用这种驱功方式，电动机采用直流电动机或交流变频电动机。这种电动机可以无级调速，不用齿轮调速以减少振动，电动机要求经过精密动平衡并用单独地基以免振动影响超精密机床。传动带用柔软的无接缝的丝质材料制成。带轮有自己的轴承支撑，经过精密动平衡，通过柔性联轴器（常用电磁联轴器）和机床主轴相连，采用上述措施主要是使主轴尽可能和振功隔离。
2）电动机通过柔性联轴器驱动机床主轴
优缺点：采用这种主轴驱动方式时，电机采用直流电动机或交流变频电功机，可以很方便的实观无级调速，电动机应经过精密动平衡，电动机安装时尽量使电功机轴和机床主轴同心，再用柔性联轴器消除电动机轴和机床轴不同心引起的振动和回转误差。这样可以尽量提高超精密机床主轴的回转精度。
3）采用内装式同轴电动机驱动机床主轴
优缺点：电动机现在都采用无刷直流电动机，可以很方便地进行主铀转速的无级变速，同时电动机没有电刷，不仅可以消除电刷引起的摩擦振动，而且免除了电刷磨损对电机运转的影响。现在一般的直流电动机都是方波驱动，这时的驱动转矩变化大致在10%8%，这将使主轴的瞬时转速有波动，主轴转速低时，转速波动更明显。

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