填空题

CZ直拉法生长单晶硅是把()变为()并且()的固体硅锭。

正确答案

融化了的半导体级硅液体;有正确晶向的;被掺杂成p型或n型

答案解析

相似试题
  • 85%以上的单晶硅是采用CZ直拉法生长出来的。

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  • CZ直拉法的目的是()。

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  • 影响CZ直拉法的两个主要参数是()和()。

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  • CZ直拉法是按照在20世纪90年代初期它的发明者的名字来命名的。

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  • 生产多晶硅带的方法主要有定边喂膜法、蹼状枝晶法、绳带法和模板生长法,其中产出率最高的方法为()

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  • 单晶硅生长常用()和()两种生长方式,生长后的单晶硅被称为()。

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  • 在单晶硅表面制作绒面时,常用的各向异性腐蚀剂有有机腐蚀剂和(),并且被腐蚀的单晶硅表面为100晶面时,可形成金字塔方椎形状,腐蚀后方椎高度一般为3~6μm。

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  • 工业中单晶硅的制备方法主要有()和区熔法(FZ法)

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  • 铸造技术为何能提高多晶硅纯度;制备铸造多晶硅的工艺流程;描述直培法工艺;影响直培法制备柱形多晶硅的因素。

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