简答题

试述离子束加工的基本原理、应用、特点。

正确答案

离子束加工是利用离子束对材料进行成形或表面改进的方法。在真空条件下,将由离子源产生的离子。经过加速,投射到材料表面,产生溅射和注入效应。它是靠微观的机械撞击能量束加工的。
主要应用在:利用离子撞击和溅射效应的离子束刻蚀,离子溅射镀膜和离子镀,以及离子注入效应的离子注入。
特点:加工精度高,易精确控制,污染少,加工应力小,变形极小。
相比较电子束加工,便宜。离子束加工具有更大的能量。

答案解析

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