电子束加工、离子束加工和激光加工各自的工作原理和应用范围如何？各有什么优缺点？
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电子束加工,离子束加工和激光加工相比各自的使用范围如何,三者各有什么优缺点
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离子束撞击工件将引起变形、分离、嵌入、破坏等（）作用，而不像电子束是通过（）效应进行加工。
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离子束加工装置与电子束加工装置类似，不同的是用（）取代了（）。
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离子束加工是利用离子束对材料进行成型或改性的加工方法。
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离子束加工为什么能实现纳米级加工？
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激光加工与离子束加工要求有真空装置。
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超声加工、电子束加工、激光加工都是特种机械加工方法。
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离子束加工机床（激光加工机床）是采用激光能量进行加工的设备的总称。
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