简答题

异质基片上高品质叠层的多晶硅型薄膜技术有几种方法?

正确答案

目前广泛有:化学气相沉积法(CVD.、液相外延法(LPE.、固相结晶化法(SPC.

答案解析

相似试题
  • 太阳能单一结电池片可以分为();()、双异质性结构、倾斜禁带宽度型、异质结构、短键位垒型、量子阱结构超晶格结构、Si以及Ge基片上的薄膜电池片上。

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  • 由于单晶硅基片的制造技术和()等的半导体技术有很多的共同点,因此新技术从半导休整上导入是有右能的,最近引人注目的技术之一是()。

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  • 在太阳能电池制造技术的开发中,作为主流的结晶系太阳能电池有()和薄膜多晶太阳能电池等。

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  • 太阳能电池是由于()和多晶硅进行叠层得到的新型太阳能电池。

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  • 结晶硅具有()型能带结构,因此吸收系数较小,有必要进行封闭,活性层的厚度为数μm的薄膜太阳能电池也可得到高的转换效率。

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  • 大部分的多晶硅基片都是用所谓的铸造法生产的。基片广泛使用()的角。目前用众所周知的固液界面的()、液固速度等许多知识的累积来生产铸模。

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  • 多晶硅表面的结晶面是多重的,因此不能像单晶硅基片那样,使用()的不同方向腐蚀的化学蚀刻方法。

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  • 在多晶硅薄膜制造装置中可使用RTP,将得到的灯光用(),然后缓慢地移动位置,使多晶硅薄膜再结晶化。

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  • 薄膜电池分为:()和非晶硅薄膜电池。

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