自动关机时只要把总电源关掉就可以了。
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手动关机时，关闭扩散泵加热，等冷却50分钟后，需先关闭MV阀、再关罗茨泵和机械泵。
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换电时先关机械泵，再关预阀，后关扩散泵。
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换电之后扩散泵要重新预热50分钟后才能升高阀.
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扩散泵油被氧化后，仍然可以使用一段时间。
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假设已恒温了30分钟，突然通知马上要换电，请详细说明从接到通知到开始镀膜整个处理过程.
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换过防污板之后不烘烤就可以上片，这样可以节省时间.
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自动关机时不需要考虑真空度就可以直接关机。
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在使用扩散泵应注意哪些事项？
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