判断题

离子注入会将原子撞击出晶格结构而损伤硅片晶格,高温退火过程能使硅片中的损伤部分或绝大部分得到消除,掺入的杂质也能得到一定比例的电激活。

A

B

正确答案

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答案解析

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  • 离子束加工时,由于离子质量大,当速度高、能量大时,垂直撞击时离子可注入工件材料内部,称()。当速度低、能量小时,离子可以溅射镀覆在工件表面,称()。当能量速度()而倾斜撞击工件时,可将工件表面的分子,原子撞击出去,一层一层的剥离下来,称为()加工或()加工。

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  • 离子注入中高能量意味着注入硅片更深处,低能量则用于超浅结注入。

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  • 活性中心是指在催化剂表面晶格上一些具有很高活性的特定部位,可为原子、离子,也可为由若干个原子有规则排列而组成的一个小区域。

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  • 有限表面源扩散与离子注入的杂质分布都满足高斯函数,两种掺杂工艺杂质最高浓度位置都在硅片表面。

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