简答题

分别写出刻蚀及去PSG的工艺控制流程?

正确答案

刻蚀的流程:预抽,主抽,送气,辉光,清洗,预抽,主抽,充气
去PSG的流程:酸洗(HF),溢流水洗,喷淋,甩干

答案解析

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