简答题

扩散间生产流程及返工流程是什么？操作时应注意哪些事项？

正确答案

生产流程：开机→对硅片自检→检查石英舟→插片→上浆→运行工艺→卸片→测方块电阻→返工片和碎片处理→流程卡填写
返工流程：来料时检出不合格的片源→制绒，扩散时中途故障导致→清洗间→扩散间→反面扩散。
在生产操作时严禁裸手接触硅片，拿各种石英器件要轻拿轻放，工艺在运行时，时刻检查气体流量、温度、时间、设备是否有异常。

答案解析

略

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