HMDA装置的真空泵的正常停止的顺序是（）。

HMDA装置的真空泵的正常启动顺序是（）。

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HMDA装置的真空泵是（）式和（）式。

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HMDA装置的真空泵的位号是（）、（）、（）。

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HMDA装置真空泵有（）。

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真空机组的启动、停止的顺序分别是（）

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停止启动真空机组的顺序依次是（）

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C-A003需真空操作，故有停止真空机组的操作，停止时的顺序为：（）

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正常启动真空机组的顺序依次是（）

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HMDA真空机组有三级真空泵。

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