简答题

双极型集成电路的工艺流程具体有哪些?

正确答案

1、衬底制备;
2、生长埋层(埋层氧化、光刻、掺杂);
3、外延生长;
4、生长隔离区(隔离氧化,隔离光刻,隔离扩散);
5、生长基区;
6、发射区和集电极接触区生长;
7、形成金属连线。

答案解析

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