简答题

压力对氧化物生长的影响是什么?

正确答案

生长速率随着压力增大而增大。高压强迫使氧原子更快地穿越正在生长的氧化层,这对线性和抛物线速率系数的增加很重要。这就允许降低温度但仍保持不变的氧化速率,或者在相同温度下获得更快的氧化生长。氧化生长的经验法则表明,每增加一个大气压的压力,相当于炉体温度降低30摄氏度。

答案解析

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