利用物质本身的某种客观性质制作的传感器称之为（）。

利用光纤本身的某种敏感特性或功能制作的传感器称为（）。

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压电式传感器是利用某些材料的（）特性来制作的传感器。

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压电式传感器是利用某些物质的（）而工作的

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半导体、催化燃烧、固体导热、光离子化等检测仪都属于利用（）性质的气体传感器。

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在物质代谢过程的同时发生着能量释放、转移、贮存和利用的过程，称为什么（）。

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SAW气敏传感器中，吸附膜吸收了环境中的某种特定气体，使基片表面性质发生变化，导致SAW振荡器振荡频率发生变化，通过测量频率的变化就可检测特定气体成分的含量。

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传感器技术的共性，就是利用物理定律和物质的物理、化学及生物的特性将非电量转换成（）。

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CVD是利用某种物理过程，例如蒸发或者溅射现象实现物质的转移，即原子或分子由源转移到衬底（硅）表面上，并淀积成薄膜。

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半导体气敏传感器利用半导体气敏元件与气体接触后，造成半导体性质变化来测定特定气体成分或浓度。

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