多选题

二氧化硅膜的质量要求有()。

A薄膜表面无斑点

B薄膜中的带电离子含量符合要求

C薄膜表面无针孔

D薄膜的厚度达到规定指标

E薄膜厚度均匀,结构致密

正确答案

来源:www.examk.com

答案解析

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