干氧氧化法有一些优点，但同时它的缺点有（）。

干氧氧化法具备以下一系列的优点（）。

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干氧氧化中，氧化炉内的气体压力应（）一个大气压。

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在深紫外曝光中，需要使用CA光刻胶，它的优点在于（）。

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晶硅栅极刻蚀最大的挑战就是对二氧化硅的高选择性。超薄的（）使得在刻蚀多晶硅电极时对它的刻蚀要尽可能的小。

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二氧化硅薄膜厚度的测量方法有（）。

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二氧化硅膜的质量要求有（）。

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解决氧化层中的钠离子沾污的方法有（）。

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电气测量技术的应用所以能在现代各种测量技术中占有重要的地位，是因为它具有很多优点，主要有：（）。

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电原理图中的虚线有哪些辅助作用？在电原理图中，虚线一般是作为一种辅助线，没有实际电气连接的意义。它的辅助作用如下：

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