多选题
A防止扩散油分子回流到真空室
B加快排氣速度
C防止杂物掉入扩散泵
D提高膜层附着力
正确答案
答案解析
略
相似试题
在使用扩散泵应注意哪些事项？
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刚开机时为什么要预热扩散泵油？在什么情况下扩散泵油会被氧化？
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关扩散泵后等待30分钟就可以关掉设备总电源。
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扩散泵油被氧化后，仍然可以使用一段时间。
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手动开机时，打开扩散泵（DP）加热开关前先需把MV阀打开，否则会影响扩散泵抽速。
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换电时先关机械泵，再关预阀，后关扩散泵。
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换电之后扩散泵要重新预热50分钟后才能升高阀.
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写出镀膜机各控制阀门的中文名称：MV（）DP扩散泵RV（）SLV细充气阀FV辅助阀。
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手动关机时，关闭扩散泵加热，等冷却50分钟后，需先关闭MV阀、再关罗茨泵和机械泵。
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