简答题

磷源更换操作流程是什么?泄露应该怎么处理?

正确答案

源瓶更换的标准操作过程依次关闭进气阀门、出气阀门,拔出连接管道,更换源瓶,连接管道,打开出气阀门、进气阀门。液态源外溢了,要立即擦拭干净,并暂停工艺运行,仔细检查源瓶是否有破损。
对泄漏物处理必须戴好防毒面具和手套。液体泄漏用沙土混和,倒至大量水中以稀释。沾染皮肤时,要先用纸、棉花将液体吸去,然后再用清水冲至少15分钟。如用水过少,会在皮肤形成磷酸引起灼伤,按酸灼伤处理。

答案解析

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