简答题

半导体芯片制造对厂房洁净度有什么要求?

正确答案

空气中的一个小尘埃将影响整个芯片的完整性、成品率,并影响其电学性能和可靠性,所以半导体芯片制造工艺需在超净厂房内进行。1977年5月,原四机部颁布的《电子工业洁净度等级试行规定》如下:
电子工业洁净度等级试行规定:

按器件产品种类和要求所采用的洁净标准:

答案解析

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