简答题

如何理解纳米级加工的物理实质?

正确答案

欲得到1nm的加工精度,加工的最小单位必然在亚微米级。由于原子间的距离为0.1-0.3nm,纳米级加工实际上以及到了加工精度的极限。

答案解析

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