湿法蚀刻时蚀刻液的腐蚀是各向同性的，腐蚀发生在和溶液接触的各个方面。

多晶硅表面的结晶面是多重的，因此不能像单晶硅基片那样，使用（）的不同方向腐蚀的化学蚀刻方法。

填空题查看答案

酸性氯化铜蚀刻液的特点是蚀刻速率恒定，容易控制。

判断题查看答案

湿法蚀刻的方式主要有（）。

多选题查看答案

在湿法蚀刻中，侧蚀是不可避免的，所以镀层突沿总是存在的。

判断题查看答案

湿法蚀刻具有以下哪些缺点（）。

多选题查看答案

湿法蚀刻的主要方式中产生侧蚀程度最小的是（）。

单选题查看答案

蚀刻液的主要成分是（）。

填空题查看答案

侧蚀程度的大小与蚀刻液的种类、组成和所使用的蚀刻工艺及设备有关。

判断题查看答案

蚀刻液的种类有（）。

多选题查看答案