湿法蚀刻的主要方式中产生侧蚀程度最小的是（）。
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湿法蚀刻具有以下哪些缺点（）。
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湿法蚀刻时蚀刻液的腐蚀是各向同性的，腐蚀发生在和溶液接触的各个方面。
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在湿法蚀刻中，侧蚀是不可避免的，所以镀层突沿总是存在的。
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喷淋蚀刻的传送方式有（）和垂直传送方式。
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碱性蚀刻中蚀刻不足可能是喷淋压力不足造成，其解决方式为（）。
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干法蚀刻通常指利用辉光放电方式，产生等离子体来进行图案转移的蚀刻技术。其中等离子体含有（）。
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脱除焦炉煤气中硫化氢的方法主要有干法和湿法。
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蚀刻液的主要成分是（）。
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