简答题

例举出两种光刻胶显影方法。例举出7种光刻胶显影参数。

正确答案

连续喷雾显影,旋覆浸没显影显影温度,显影时间,显影液量,硅片洗盘,当量浓度,清洗,排风。

答案解析

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