若计划用图示中掩膜版上黑色区域在硅片上制作扩散区,光刻时需要使用哪种光刻胶?为什么?并简介光刻操作流程。
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例举并描述光刻中使用的两种曝光光源。
什么是硅化物?难熔金属硅化物在硅片制造业中重要的原因是什么?
解释光刻胶显影。光刻胶显影的目的是什么?
简述;写出聚乙烯醇肉桂酸酯光刻胶的结构式和交联反应方程式。
光刻和刻蚀的目的是什么?
天然橡胶为什么要冲洗?天然橡胶温胶的目的是什么?
什么是外延层?为什么在硅片上使用外延层?
例举出两种光刻胶显影方法。例举出7种光刻胶显影参数。
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