离子束加工装置与电子束加工装置类似，不同的是用（）取代了（）。

激光加工与离子束加工要求有真空装置。

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电子束加工设备昂贵，并需要（）装置。

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电子束加工的装置主要包括（）和（）、（）等。

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电子束加工、离子束加工和激光加工各自的工作原理和应用范围如何？各有什么优缺点？

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电子束加工,离子束加工和激光加工相比各自的使用范围如何,三者各有什么优缺点

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离子束加工是利用离子束对材料进行成型或改性的加工方法。

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离子束加工为什么能实现纳米级加工？

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超声加工、电子束加工、激光加工都是特种机械加工方法。

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电子束、离子束加工均需在（）中进行。

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