平滑是一种平坦化类型，它只能使台阶角度圆滑和侧壁倾斜，但高度没有显著变化。

反刻是一种传统的平坦化技术，它能够实现全局平坦化。

判断题查看答案

化学机械平坦化，简称CMP，它是一种表面全局平坦化技术。

判断题查看答案

旋涂膜层是一种传统的平坦化技术，在0.35μm及以上器件的制造中常普遍应用于平坦化和填充缝隙。

判断题查看答案

硅片平坦化的四种类型分别是（）、部分平坦化、（）和（）。

填空题查看答案

对阶梯式圆凸模，如果各台阶直径相差不大，可直接采用（）作毛坯，使毛坯准备工作简化

填空题查看答案

调速器是一种（）装置，它根据（）的变化，自动增减喷油泵的供油量，使柴油机能够以稳定的（）。

填空题查看答案

终点检测是指（）的一种检测到平坦化工艺把材料磨到一个正确厚度的能力。两种最常用的原位终点检测技术是（）和（）。

填空题查看答案

示波器本身虽然只能测量电压波形，但可以通过变换电路，实现对电流、功率等其他电量的测量，还可以通过各种传感器测量机械、物理、医学等各种非电量，也可以用它作为比较仪器的指示装置，所以示波器是一种应用十分广泛的（）。

填空题查看答案

离心泵是一种（）机械，它借助于泵的叶轮高速旋转，使充满在泵体内的液体在（）的作用下，从叶轮中心被甩至边缘，在此过程中液体获得能量，提高了（）。

填空题查看答案