旋涂膜层是一种传统的平坦化技术，在0.35μm及以上器件的制造中常普遍应用于平坦化和填充缝隙。

反刻是一种传统的平坦化技术，它能够实现全局平坦化。

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化学机械平坦化，简称CMP，它是一种表面全局平坦化技术。

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平滑是一种平坦化类型，它只能使台阶角度圆滑和侧壁倾斜，但高度没有显著变化。

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终点检测是指（）的一种检测到平坦化工艺把材料磨到一个正确厚度的能力。两种最常用的原位终点检测技术是（）和（）。

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化学机械平坦化的工作机理是什么？与传统平坦化方法相比，它有哪些优点？

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汽车技术外部经济的概念是一种将报酬（）引入贸易理论分析的传统分析方法。

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Cable Modem是一种（）介质的接入技术，通过（）实现数据业务和传统的CATV业务共存。

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GPRS技术是一种叠加在（）系统上的（）技术。

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硅片平坦化的四种类型分别是（）、部分平坦化、（）和（）。

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